檢索結果:共10筆資料 檢索策略: "plasma".ekeyword (精準) and year="101"
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本研究建立非傳輸型井式陰極直流水蒸氣電漿火炬內部反應流場數學模型與數值分析方法。本研究基於二維軸對稱、電漿為電中性、電漿具光學扁薄性以及穩態紊流場條件,以有限體積法聯立求解連續方程式組、電流連續方程…
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本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制,並進行三維沉積反應模擬,工作氣體為矽烷及氫氣,同時計算低壓腔體內之矽薄膜成長速率。本研究共考慮19種重要物種,包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等…
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本研究第一部分實驗係利用一低溫鋁擴散於非晶矽膜層使其形成p型多晶矽層之技術,作為矽晶異質接合太陽電池背電場製作的應用。以此技術製備p型膜層的實驗結果顯示,非晶矽層與濺鍍鋁層接觸並經200℃熱處理1小…
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本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …
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本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極,以取代昂貴之白金(Pt)作為電極,並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy,製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
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本研究在假設二維軸對稱及穩態的條件下進行非傳輸型井式陰極直流空氣電漿火炬流場模擬分析,利用有限體積法聯立求解連續方程式、電流連續方程式、動量方程式、能量方程式與紊流模型,流場內的電流分布利用安培定律…
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鎂及其合金在實用金屬中已廣泛被使用在航空、汽車及3C產品上,由於其優點:比剛性高、制震能良好,加工性優良、電磁波遮蔽性佳及導熱性高。是對於運輸交通工具、隨身攜帶式資訊產品等3C產品更加輕量化的關鍵材…
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在矽晶太陽電池中晶片表面鈍化及抗光反射為重要的關鍵技術。本研究以原子層沉積法沉積氧化鋁薄膜於矽晶片表面上作為鈍化之使用。首先以電漿輔助原子層沉積系統及熱原子層沉積系統製備氧化鋁薄膜,研究重點為探討氧…
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第一部分 超音波結合幾丁聚醣對於老鼠內部分脂肪分解之研究 幾丁聚醣除了被運用在減肥的輔助用途外,對於伴隨高血脂或是體重過重型的脂肪肝之改善效果也相當好,而近年來超音波運用範圍也相當廣泛,不僅…
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氧化釓摻雜氧化鈰(Gd2O3-Doped CeO2, GDC)固態電解質材料被認為最有潛力可取代傳統氧化釔安定氧化鋯(Yttria-Stabilized Zirconia, YSZ)電解質並應用於中…